【集微发布】中国光刻机荷兰进口情况：12月同比增长256.1%，沪京鲁进口额位列前三
集微网报道 2023年6月，荷兰宣布了出口管制禁令，根据相关出口法规，自2024年1月1日起，中国大陆的企业将很难获得出口许可证。因此，从2023年下半年起，我国从荷兰进口光刻机金额呈现爆发式增长。那么进入2024年，我国从荷兰进口光刻机情况如何？集微网将通过数据详细解读我国光刻机从荷兰进口情况（2024年1-2月），发布《中国半导体海关进出口数据-光刻机荷兰进口额》。进口额同比增长256.1%，环比下降44.8%据中国海关总署数据，2024年1-2月份，从荷兰进口额为10.57亿美元，同比增长256.1%，环比下降44.8%，进口数量32台。其中，1月份进口额6.66亿美元，同比增长522%，环比下降41%，进口数量20台；2月份进口额3.9亿美元，同比增长105.9%，环比下滑41.4%，进口数量12台。从数据来看，进入2024年，我国从荷兰进口光刻机金额同比仍大幅增长，但环比下滑明显。值得一提的是，我国从荷兰进口光刻机每台均价自去年5月份起，从1000万美元/台左右增长至3000万美元/台左右，2024年前两个月均价仍是3000万美元/台以上。沪京鲁进口额位列前三按国内分注册地进口情况看，2024年1-2月，共有9个省市进口了光刻机，其中进口量前五分别是上海市（3.03亿美元）、北京市（1.45亿美元）、山东省（1.31亿美元）、四川省（1.31亿美元）和广东省（1.17亿美元），占比分别为28.7%、13.8%、12.4%、12.4%和11.1%，合计占比78.4%。我国各省市光刻机的进口量往往能反映该地区晶圆厂规模及产能情况。据集微咨询（JW Insights）统计，上海地区主要有中芯国际、积塔、上海台积电、华虹、鼎泰匠心、上海格科微、Diodes；北京地区有中芯国际、长鑫存储、赛微电子、燕东微电子；山东地区有青岛芯恩、比亚迪济南；四川地区有成都德州仪器；广东地区有中芯国际、广州粤芯、广州增芯、润鹏半导体等。附注：本文数据统计口径：中国海关编码为“84862031”和“84862039”，商品名称为“制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机”和“其他投影绘制电路图的制半导体件或IC的装置”的海关总署统计数据情况。根据海关总署进出口税则商品及品目注释，该这两类为制造半导体器件或集成电路用的机器及装置中的光刻设备。光刻设备，用以将电路图案转印到涂有光刻胶的半导体晶圆表面，例如：1.在晶圆上涂布光刻胶用的设备，包括将液态光刻胶均匀地涂布在晶圆表面上的旋转涂胶机。2.对已涂布光刻胶的带电路图案（或部分图案）的晶圆进行曝光的设备：（1）使用掩膜版或光掩膜，并将光刻胶曝光（通常用紫外线），有时用X射线：①接触式光刻机，曝光时掩膜版或光掩膜与晶圆相接触。②接近式光刻机，类似于接触式光刻机，只是掩膜版或光掩膜与晶圆之间不发生实际接触。③扫描光刻机，采用投影技术，对扫过掩膜版与晶圆的一条连续运动的狭缝进行曝光。④分步重复光刻机，采用投影技术，每次曝光晶圆的一部分。可将掩膜版缩小或1：1地对晶圆进行曝光。增强措施包括使用受激准分子激光器。晶圆直接写入设备。这类装置不使用掩膜版或光掩膜进行操作，而是采用自动数据处理设备控制的“写入电子束”〔例如，电子束或称E-束、离子束或激光〕将电路图案直接“绘制”在涂布光刻胶的半导体晶圆上。
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